# MEMS技术

# 什么是MEMS技术?

Micro-Electro-Mechanical Systems MEMS(微机电系统),是指以微型化、系统化的理论为指导,通过半导体制造等微纳加工手段,形成特征尺度为微纳米量级的系统装置。相对于先进的集成电路(IC)制造工艺(遵循摩尔定律),MEMS制造工艺不单纯追求线宽而注重功能特色化,即利用微纳结构或/和敏感材料实现多种传感和执行功能,工艺节点通常从500nm到110nm,衬底材料也不局限硅,还包括玻璃、聚合物、金属等。由MEMS技术构建的产品往往具有体积小、重量轻、功耗低、成本低等优点,已广泛应用于汽车、手机、工业、医疗、国防、航空航天等领域。

MEMS设备由机电元件(移动或不移动)组成,由集成微电子控制。

MEMS的功能元素是小型化结构、传感器、执行器和微电子。微传感器和微执行器被归类为传感器,是将测量的机械信号转换为电气信号的设备。

MEMS

微型传感器现在可用于各种测量,如温度、压力、磁场或惯性测量。

高质量的MEMS组件是我们主要IMU和核心零部件。与机械或FOG陀螺仪或伺服加速度计等竞争技术相比,这种MEMS技术具有许多优势:

  • 微型设计提供了更小、更轻的产品,使新的应用得以覆盖。
  • 这项技术非常强大,可提供更高的抗冲击性和免维护操作。
  • 与FOG或RLG等其他技术相比,MEMS设计提供了最具成本效益的解决方案。
MEMS
MEMS Ring of a gyroscope - Courtesy of Silicon Sensing
MEMS 性能

尽管相同的MEMS技术用于智能手机和平板电脑等消费者应用,但低成本MEMS和导航级MEMS传感器之间的性能差距非常大。FDISYSTEMS仅选择高性能传感器。

# 振动处理

FDISYSTEMS IMU专为恶劣环境而设计。特别是在振动处理方面的表现。

当暴露在振动中时,加速度计或陀螺仪会有一些偏置增加。这种对加速度计的振动效应被称为VRE。因此,一个好的起点是选择具有低VRE的传感器,以维持更高水平的振动。

第二点是设计高效的硬件和软件信号处理,特别是高频采样(>1kHz)将防止混叠并提高传感器数据分辨率。

MSG_VERSION
Packet ID 0x39
Length 26
Read/Write Read
Offset Size Format Field Unit Description
0 4 uint32_t SN[4]
产品序列号

MEMS

# 数据帧组成

帧头 数据区 帧尾
起始 指令 数据 流水 帧头CRC8 数据 载荷 结束
字节数 1 1 1 1 1 2 1-255 1
数值 0xFC A B C D 高字节(E) 低字节(E) 0xFD

A:指令的类别,如下表所示

指令类别
0x40 经过校准的IMU数据 MSG_IMU
0x41 AHRS数据 MSG_AHRS
0x42 INS/GPS数据 MSG_INS/GPS
0x58 传感器原始数据 MSG_RAW_GNSS

B:载荷的字节数。

C:流水号, 每发送一个数据帧数值加一,用于检测数据帧丢包。

D:帧头CRC8校验,计算帧头部分 起始标志 + 指令类别 + 数据长度 + 流水序号,详情请参考[1.2 CRC8校验](<#_1.2 CRC8校验>)。

E:数据CRC16校验,计算载荷数据的CRC16校验,详情请参考[1.3 CRC16校验](<#_1.3 CRC16校验>)。

F: 0xF0 是上位机心跳请求。

# CRC8校验

CRC 8校验位:标志位+指令类别+数据长度+流水序号

CRC 8校验程序如下:

static const uint8_t CRC8Table[] = {
	0,  94, 188, 226, 97, 63, 221, 131, 194, 156, 126, 32, 163, 253, 31, 65,
	157, 195, 33, 127, 252, 162, 64, 30, 95, 1, 227, 189, 62, 96, 130, 220,
	35, 125, 159, 193, 66, 28, 254, 160, 225, 191, 93, 3, 128, 222, 60, 98,
	190, 224, 2, 92, 223, 129, 99, 61, 124, 34, 192, 158, 29, 67, 161, 255,
	70, 24, 250, 164, 39, 121, 155, 197, 132, 218, 56, 102, 229, 187, 89, 7,
	219, 133, 103, 57, 186, 228, 6, 88, 25, 71, 165, 251, 120, 38, 196, 154,
	101, 59, 217, 135, 4, 90, 184, 230, 167, 249, 27, 69, 198, 152, 122, 36,
	248, 166, 68, 26, 153, 199, 37, 123, 58, 100, 134, 216, 91, 5, 231, 185,
	140, 210, 48, 110, 237, 179, 81, 15, 78, 16, 242, 172, 47, 113, 147, 205,
	17, 79, 173, 243, 112, 46, 204, 146, 211, 141, 111, 49, 178, 236, 14, 80,
	175, 241, 19, 77, 206, 144, 114, 44, 109, 51, 209, 143, 12, 82, 176, 238,
	50, 108, 142, 208, 83, 13, 239, 177, 240, 174, 76, 18, 145, 207, 45, 115,
	202, 148, 118, 40, 171, 245, 23, 73, 8, 86, 180, 234, 105, 55, 213, 139,
	87, 9, 235, 181, 54, 104, 138, 212, 149, 203, 41, 119, 244, 170, 72, 22,
	233, 183, 85, 11, 136, 214, 52, 106, 43, 117, 151, 201, 74, 20, 246, 168,
	116, 42, 200, 150, 21, 75, 169, 247, 182, 232, 10, 84, 215, 137, 107, 53
};
uint8_t CRC8_Table(uint8_t* p, uint8_t counter)
{
	uint8_t crc8 = 0;
	for (int i = 0; i < counter; i++)
	{
		uint8_t value = p[i];
		uint8_t new_index = crc8 ^ value;
		crc8 = CRC8Table[new_index];
	}
	return (crc8);
}

CRC8 校验程序调用举例:

uint8_t CRC8 = CRC8_Table(data, data_len);

# CRC16校验

CRC 16校验:载荷

CRC 16校验程序如下:

static const uint16_t CRC16Table[256] =
{
	0x0000, 0x1021, 0x2042, 0x3063, 0x4084, 0x50A5, 0x60C6, 0x70E7,
	0x8108, 0x9129, 0xA14A, 0xB16B, 0xC18C, 0xD1AD, 0xE1CE, 0xF1EF,
	0x1231, 0x0210, 0x3273, 0x2252, 0x52B5, 0x4294, 0x72F7, 0x62D6,
	0x9339, 0x8318, 0xB37B, 0xA35A, 0xD3BD, 0xC39C, 0xF3FF, 0xE3DE,
	0x2462, 0x3443, 0x0420, 0x1401, 0x64E6, 0x74C7, 0x44A4, 0x5485,
	0xA56A, 0xB54B, 0x8528, 0x9509, 0xE5EE, 0xF5CF, 0xC5AC, 0xD58D,
	0x3653, 0x2672, 0x1611, 0x0630, 0x76D7, 0x66F6, 0x5695, 0x46B4,
	0xB75B, 0xA77A, 0x9719, 0x8738, 0xF7DF, 0xE7FE, 0xD79D, 0xC7BC,
	0x48C4, 0x58E5, 0x6886, 0x78A7, 0x0840, 0x1861, 0x2802, 0x3823,
	0xC9CC, 0xD9ED, 0xE98E, 0xF9AF, 0x8948, 0x9969, 0xA90A, 0xB92B,
	0x5AF5, 0x4AD4, 0x7AB7, 0x6A96, 0x1A71, 0x0A50, 0x3A33, 0x2A12,
	0xDBFD, 0xCBDC, 0xFBBF, 0xEB9E, 0x9B79, 0x8B58, 0xBB3B, 0xAB1A,
	0x6CA6, 0x7C87, 0x4CE4, 0x5CC5, 0x2C22, 0x3C03, 0x0C60, 0x1C41,
	0xEDAE, 0xFD8F, 0xCDEC, 0xDDCD, 0xAD2A, 0xBD0B, 0x8D68, 0x9D49,
	0x7E97, 0x6EB6, 0x5ED5, 0x4EF4, 0x3E13, 0x2E32, 0x1E51, 0x0E70,
	0xFF9F, 0xEFBE, 0xDFDD, 0xCFFC, 0xBF1B, 0xAF3A, 0x9F59, 0x8F78,
	0x9188, 0x81A9, 0xB1CA, 0xA1EB, 0xD10C, 0xC12D, 0xF14E, 0xE16F,
	0x1080, 0x00A1, 0x30C2, 0x20E3, 0x5004, 0x4025, 0x7046, 0x6067,
	0x83B9, 0x9398, 0xA3FB, 0xB3DA, 0xC33D, 0xD31C, 0xE37F, 0xF35E,
	0x02B1, 0x1290, 0x22F3, 0x32D2, 0x4235, 0x5214, 0x6277, 0x7256,
	0xB5EA, 0xA5CB, 0x95A8, 0x8589, 0xF56E, 0xE54F, 0xD52C, 0xC50D,
	0x34E2, 0x24C3, 0x14A0, 0x0481, 0x7466, 0x6447, 0x5424, 0x4405,
	0xA7DB, 0xB7FA, 0x8799, 0x97B8, 0xE75F, 0xF77E, 0xC71D, 0xD73C,
	0x26D3, 0x36F2, 0x0691, 0x16B0, 0x6657, 0x7676, 0x4615, 0x5634,
	0xD94C, 0xC96D, 0xF90E, 0xE92F, 0x99C8, 0x89E9, 0xB98A, 0xA9AB,
	0x5844, 0x4865, 0x7806, 0x6827, 0x18C0, 0x08E1, 0x3882, 0x28A3,
	0xCB7D, 0xDB5C, 0xEB3F, 0xFB1E, 0x8BF9, 0x9BD8, 0xABBB, 0xBB9A,
	0x4A75, 0x5A54, 0x6A37, 0x7A16, 0x0AF1, 0x1AD0, 0x2AB3, 0x3A92,
	0xFD2E, 0xED0F, 0xDD6C, 0xCD4D, 0xBDAA, 0xAD8B, 0x9DE8, 0x8DC9,
	0x7C26, 0x6C07, 0x5C64, 0x4C45, 0x3CA2, 0x2C83, 0x1CE0, 0x0CC1,
	0xEF1F, 0xFF3E, 0xCF5D, 0xDF7C, 0xAF9B, 0xBFBA, 0x8FD9, 0x9FF8,
	0x6E17, 0x7E36, 0x4E55, 0x5E74, 0x2E93, 0x3EB2, 0x0ED1, 0x1EF0
};
uint16_t CRC16_Table(uint8_t* p, uint8_t counter)
{
	uint16_t crc16 = 0;
	for (int i = 0; i < counter; i++)
	{
		uint8_t value = p[i];
		crc16 = CRC16Table[((crc16 >> 8) ^ value) & 0xff] ^ (crc16 << 8);
	}
	return (crc16);
}

CRC16 校验程序调用举例:

uint16_t CRC16 = CRC16_Table(payload, length);

# AN数据帧定义与自定义CAN_ID

打开 FDIGroundStation 上位机,连接设备后将 COMM 板块的 CAN 数据输出口设置为 **NAV **选项后,用户即可通过CAN获取数据,输出数据帧定义与FDILink协议一致,如下表所示。

帧头 数据区 帧尾
起始 指令 数据 流水 帧头CRC8 数据 载荷 结束
字节数 1 1 1 1 1 2 1-255 1
数值 0xFC A B C D 高字节(E) 低字节(E) 0xFD

MEMS

CAN_ID的配置方便用户区分不同的模块, 其配置参数位于config界面左侧的参数表USER中。如下图所示,具体名称为USER_DEFINE_CAN_ID ,双击该行后的数值并修改,随后写入设备 Flash 重启后生效。

需要注意的是,上位机填写的是十进制id,而写入我们模块的则是十六进制,如图中201,则模块的实际id为201的十六进制数C9。未设置id时,模块发送的默认数据id为0x00,表示不过滤;设置id后,发送的id为设置的id。

设置id后,只有该id和默认id可以访问到该模块,其他id号的指令将全部被硬件过滤器所过滤。

Acknowledgement Packet
Packet ID 0
Length 4
Read / Write Read
Field # Bytes Offset Data Type Size Description
1 0 u8 1 Packet ID being acknowledged
2 1 u16 2 CRC of packet being acknowledged
3 3 u8 1 Acknowledge Result (opens new window)