(window.webpackJsonp=window.webpackJsonp||[]).push([[413],{733:function(t,s,a){"use strict";a.r(s);var e=a(10),M=Object(e.a)({},(function(){var t=this,s=t._self._c;return s("ContentSlotsDistributor",{attrs:{"slot-key":t.$parent.slotKey}},[s("h1",{attrs:{id:"mems-技术"}},[s("a",{staticClass:"header-anchor",attrs:{href:"#mems-技术"}},[t._v("#")]),t._v(" MEMS 技术")]),t._v(" "),s("h2",{attrs:{id:"什么是-mems-技术"}},[s("a",{staticClass:"header-anchor",attrs:{href:"#什么是-mems-技术"}},[t._v("#")]),t._v(" 什么是 MEMS 技术？")]),t._v(" "),s("p",[t._v("MEMS（Micro-Electro-Mechanical Systems，微机电系统）以微型化与系统化理论为指导，通过半导体制造等微纳加工手段，形成特征尺度处于微纳米量级的系统装置。与先进集成电路（IC）制造工艺不同，MEMS 制造更注重功能特色化，而非单纯追求线宽。其利用微纳结构和/或敏感材料实现多种传感与执行功能，工艺节点通常在 500 nm 至 110 nm 之间；衬底材料也不局限于硅，还可包括玻璃、聚合物、金属等。")]),t._v(" "),s("p",[t._v("基于 MEMS 技术的产品通常具有体积小、重量轻、功耗低、成本低等优点，已广泛应用于汽车、手机、工业、医疗、国防、航空航天等领域。")]),t._v(" "),s("p",[t._v("MEMS 器件由机电元件（可动或不可动）构成，并集成微电子控制。其功能要素主要包括微型结构、传感器、执行器与微电子。微传感器与微执行器可将被测机械信号转换为电信号。")]),t._v(" "),s("fdi-img",{attrs:{width:"52.5%",alt:"MEMS",src:"/knowledge-base/01/010101.png"}}),t._v(" "),s("p",[t._v("微型传感器现已可用于温度、压力、磁场及惯性等多种测量。")]),t._v(" "),s("p",[t._v("高质量 MEMS 器件是我们主要 IMU 与核心零部件的基础。相较机械陀螺、光纤陀螺（FOG）或伺服加速度计等技术，MEMS 具有诸多优势：")]),t._v(" "),s("ul",[s("li",[t._v("微型化设计使产品更小、更轻，得以覆盖更多新应用。")]),t._v(" "),s("li",[t._v("结构坚固，抗冲击能力更强，并可实现免维护运行。")]),t._v(" "),s("li",[t._v("相较 FOG 或 RLG 等技术，MEMS 方案通常更具成本效益。")])]),t._v(" "),s("fdi-img",{attrs:{width:"52.5%",alt:"MEMS",src:"/knowledge-base/01/010102.jpeg",caption:"陀螺仪 MEMS 环形结构 — 图片由 Silicon Sensing 提供"}}),t._v(" "),s("cite-panel",{attrs:{title:"MEMS 性能"}},[s("p",[t._v("尽管智能手机、平板电脑等消费类产品同样采用 MEMS 技术，但低成本 MEMS 与导航级 MEMS 传感器之间的性能差距很大。FDISYSTEMS 仅选用高性能传感器。")])]),t._v(" "),s("h2",{attrs:{id:"振动处理"}},[s("a",{staticClass:"header-anchor",attrs:{href:"#振动处理"}},[t._v("#")]),t._v(" 振动处理")]),t._v(" "),s("p",[t._v("FDISYSTEMS IMU 专为恶劣环境设计，尤其注重振动条件下的表现。")]),t._v(" "),s("p",[t._v("暴露于振动时，加速度计或陀螺仪可能出现偏置增大。加速度计上的此类振动效应称为振动整流误差（VRE）。因此，选型时应优先选择低 VRE 的传感器，以在较强振动下仍保持性能。")]),t._v(" "),s("p",[t._v("其次，需设计高效的硬件与软件信号处理；其中高频采样（>1 kHz）有助于防止混叠，并提高传感器数据分辨率。")])],1)}),[],!1,null,null,null);s.default=M.exports}}]);